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本发明涉及芯片表面测量技术领域，公开了一种表面形貌测量装置及方法，包括光源单元、分束装置、探测装置和运动台，运动台与探测装置之间还设置有检测台，待检测样品放置于检测台，运动台带动探测装置或者检测台使二者之间产生相对运动；分束装置接收待检测样品的反射光束的光轴与运动平台的法线之间存在夹角θ，通过所拍摄图像前后存在的重叠区域的清晰程度来评估所拍摄图片的离焦量，通过离焦量计算样品表面的立体高度信息，得到大大超出分束装置实际景深的组合图像，用于对样品表面形貌详细检测。通过分束装置与运动台的倾斜配置和配合
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113188473 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110481723.8 G06T 7/11 (2017.01)
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