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2023-06-15 发布于四川
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一种新型图形复合对位靶标及HDI板.pdf

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本发明公开了一种新型图形复合对位靶标及HDI板，包括环形的对位盲孔，在对位盲孔的中间开设有对位通孔，对位通孔和对位盲孔共中心点；对位通孔的外边界与对位盲孔的内边界之间形成有环形的线路图形，线路图形的外边界与对位盲孔的内边界连接，线路图形的内边界与对位通孔的外边界之间被蚀刻移除。本发明在对位靶标中不仅同时融合了对位盲孔和对位通孔，还融合了环形的线路图形，可以先同时抓取对位通孔和对位盲孔两种对位靶标，以平衡两种孔型所带来的对位偏差，提升图形对位效率，再进一步抓取环形的线路图形，通过将线路图形分别与对

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113163580 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110449807.3 (22)申请日 2021.04.25 (71)申请人东莞市五株电子科技有限公司

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