一种背面预蚀凸点式封装结构的封装工艺.pdfVIP

一种背面预蚀凸点式封装结构的封装工艺.pdf

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本发明涉及一种背面预蚀凸点式封装结构的封装工艺,本发明在金属基板的正面和背面同时进行化学蚀刻,背面位置可与正面蚀刻位置错开,背面蚀刻形状与尺寸不受限制,因此可以根据产品需要在背面蚀刻出固定的形状和深度,可根据需求定制,解决了目前芯片尺寸受限的难题,正面可贴装较大尺寸芯片;本发明的背面预蚀提高了蚀刻精度,减少后续的蚀刻时间及难度,提高了封装效率,同时减少废铜的排放,保护环境的同时节省能源。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113192898 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110359126.8 (22)申请日 2021.04.02 (71)申请人 江阴苏阳电子股份有限公司

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