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2023-06-15 发布于四川
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一种基于等离子体技术的混合气体处理设备.pdf

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本发明公开了一种基于等离子体技术的混合气体处理设备，该设备包括SF6降解主机与电源部分，主机包括密集组装在一起的混合气体箱、等离子体放电矩阵及尾气收集箱；所述混合气体箱底部装有纯净水，在混合气体箱内待降解气体与稀释气体和水蒸气混合形成混合气；所述等离子体放电矩阵一端与混合气体箱相连，用于对混合气进行等离子体降解处理；所述尾气收集箱与等离子体放电矩阵另一端相连，尾气收集箱内装有碱性吸收液，用于对降解处理后的气体进行洗涤后通过排气管排出。本发明将待降解气体SF6与稀释气体混合的混气装置和放电降解后尾

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113181744 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202011517678.9 (22)申请日 2020.12.21 (71)申请人武汉

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