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紫外光产生用靶(20)包括发光层(22)。发光层(22)包含至少添加有钪(Sc)的YPO4晶体，接收电子束(EB)而产生紫外光(UV)。此外，紫外光产生用靶(20)的制造方法包括制作含有钇(Y)的氧化物、Sc的氧化物、磷酸和液体的混合物的第1工序、使液体蒸发的第2工序、以及对混合物进行烧成的第3工序。由此，实现了包含与Sc:Al2O3不同的电子束激发的有用的发光材料的紫外光产生用靶及其制造方法、以及电子束激发紫外光源。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113196447 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 201980083384.9 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限
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