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2023-06-15 发布于四川
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一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制造方法.pdf

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本发明公开了一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制造方法，声表面波换能器包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层和温补层；还包括负载层，负载层采用如下结构之一或组合；结构一：负载层设置于温补层上或温补层中，负载层不与叉指金属层接触，负载层覆盖叉指金属层中的全部或部分指条端头；结构二：负载层在晶圆基底内，负载层位于叉指金属层的指条端头位置对应处，负载层为导电材料；结构三：负载层位于叉指金属层和温补层之间，负载层覆盖叉指金属层中的全部或部分指条端头，负载层采用非金属材料制成。对指条端头区域进行处理阻

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113193849 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110498780.7 (22)申请日 2021.05.08 (71)申请人江苏卓胜微电子股份有限公司

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