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电极埋设构件和其制造方法、静电卡盘、陶瓷制加热器.pdfVIP

电极埋设构件和其制造方法、静电卡盘、陶瓷制加热器.pdf

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    电极埋设构件(1)包括：陶瓷制的基体(2)；电极(3)；连接构件(4)，其含有钨和钼中的至少一者，该连接构件(4)以一个主表面(4a)朝向电极(3)侧且与电极(3)电连接的状态埋设于基体(2)；以及孔部(5)，其从基体(2)的外表面延伸到连接构件(4)的另一个主表面(4b)。埋设于基体(2)的缓冲构件(10)至少包含构成基体(2)的陶瓷材料及以钨和钼中的至少一者为构成元素的导电性材料，且缓冲构件(10)覆盖连接构件(4)的缘部的至少局部。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113196870 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202080007096.8 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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