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2023-06-15 发布于四川
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薄膜晶体管阵列基板及其制作方法.pdf

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本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法，该制作方法包括：提供衬底基板，衬底基板包括显示区和非显示区；在衬底基板上形成第一金属层，第一金属层包括第一走线下段、第二走线下段和第三走线；在第一金属层上形成第一绝缘层；在第一绝缘层形成第二金属层，第二金属层包括第一走线上段；在第二金属层上形成金属氧化物半导体层；在氧化物半导体层上形成第二绝缘层；在第二绝缘层形成第三金属层，第三金属层包括桥接部和第二走线上段，其中非显示区的第一走线下段与桥接部电性连接，第一走线上段与桥接部电性连接。本发明不仅能够实现

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113192893 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110451665.4 (22)申请日 2021.04.26 (71)申请人昆山龙腾光电股份有限公司

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