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本申请提供一种基板传送装置，包括：机台、固定构件和导向滚轮；固定构件包括轴承座、传动轴和第一弹性结构；导向滚轮包括滚轴、滚轮和第二弹性结构；其中，传动轴通过所述第一弹性结构与轴承座连接，传动轴通过第一弹性结构可以在传动轴连接的方向上伸缩，滚轮通过第二弹性结构套在所述滚轴上。本申请通过增加第一弹性结构和第二弹性结构，减轻了基板在传送时，基板对基板传送装置的作用力，同时缓解了基板传送装置在传送基板时，内部产生较大的相互作用力导致基板使用寿命减少的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113148657 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110497590.3
(22)申请日 2021.05.08
(71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有
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