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本发明涉及太阳能电池生产领域。一种PERC太阳能电池的制备方法，按制绒、扩散、激光SE、去背面PSG、碱刻蚀抛光、去正面PSG、退火、氧化铝、正面沉积减反射膜、背面激光开槽、丝网印刷、烧结的工艺进行，在激光SE后首先进行链式氧化，然后进行臭氧氧化，最后再进行去背面PSG及后续步骤，链式氧化为在激光SE中进行磷掺杂的面镀一层氧化膜，氧化膜厚度控制在10‑100nm,温度控制在500‑800℃，臭氧氧化为在链式氧化产生氧化膜后通入臭氧，加强正面保护效果，臭氧浓度控制在10‑100ppm。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113161449 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110421732.8
(22)申请日 2021.04.20
(71)申请人 山西潞安太阳能科技有限责任公司
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