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本发明公开了一种工艺管内带真空隔热功能的双层进气管,其特征在于,包括架体,所述架体上安装有加热器,所述加热器的内侧安装有工艺管,所述工艺管安装在加热器之间,且为非接触式固定安装,所述工艺管的管口处设置有工艺管密封法兰压紧工艺管密封圈,在管口的外侧设置有摆动炉门。本发明的有益效果是,与传统设备的根本区别就是将原有的普通进气管变更为本发明的带真空隔热功能的双层进气管,很好解决了进气管非常容易堵塞,需要经常更换进气管,严重影响机台工作时长,不用经常性更换进气管而带来的对产能的致命影响,也明显降低了设备
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113161267 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110441490.9
(22)申请日 2021.04.23
(71)申请人 青岛赛瑞达电子科技有限公司
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