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2023-06-15 发布于四川
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一种实现两套立式多层腔体不同层间独立连接的方法及其装置.pdf

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本发明提供了一种实现两套立式多层腔体不同层间独立连接的方法及其装置，两套立式多层腔体分别为立式N层输出腔体和立式N层输入腔体，立式N层输出腔体的层数编号随高度从高至低增加，立式N层输入腔体的层数编号随高度从高至低减少，立式N层输出腔体与立式N层输入腔体相同编号的层数通过通道相连接，即立式输出腔体与立式输入腔体需要在高度方向上实现完全交叉的连接，共有N套连接通道，N套通道包括连接第M层输出腔体和第M层输入腔体的通道，以满足N套通道完全独立隔开且互不影响，其中，4≤M≤N。本发明能够实现气体从一套立

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113184937 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110447315.0 (22)申请日 2021.04.25 (71)申请人清华大学地址 10

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