一种气体泄漏检测系统和方法.pdfVIP

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本发明提供了一种气体泄漏检测系统和方法,包括光源、光信号分路元件、光信号合路元件、密封腔和检测器,所述密封腔用于密封待检测部位,所述密封腔上开设有孔,所述孔上覆盖有形变装置;所述光源发射的光信号通过光信号分路元件分成两路,其中一路照射至密封腔外壁上,另一路照射至形变装置上;所述光信号合路元件能够使密封腔外壁反射的光信号与形变装置反射的光信号发生双光束干涉;所述检测器能够对发生双光束干涉后的光信号进行光强检测,并根据光强检测结果判断气体泄漏情况,无需人工干预就能简便直观的确定待测处气体泄漏情况,且

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113176043 B (45)授权公告日 2022.07.01 (21)申请号 202110410131.7 CN 108507737 A,2018.09.07 (22)申请日 20

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