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本发明公开了一种半导体激光频率到高精细度法布里玻罗腔的锁定方法，属于激光光谱技术领域。本发明采用光学反馈方式，通过二分之玻片、偏振分束棱镜、四分之玻片的结合，实线对反馈系数的调节，可以在不损耗腔入射光强的情况下，对反馈系数进行大范围调节；通过调节粘在反射镜上的压电陶瓷的伸缩控制反馈相位，从而避免直接反射光引起的光学反馈。这种方法可以实现半导体激光器到高精细度法布里玻罗光学腔的稳定锁定，可以应用于激光线宽压窄和高灵敏腔增强光谱技术中。相对于传统的光学反馈腔锁定系统，使用了线性光学腔取代V型腔，可以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113178774 A
(43)申请公布日 2021.07.27
(21)申请号 202110413960.0
(22)申请日 2021.04.16
(71)申请人 山西大学
地址 03
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