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一种载气团簇源装置,用于向目标提供团簇,包括:用于产生簇束的束源装置,所述束源装置包括用于发射原子束的蒸发源装置和气体混合室,其中载气与原子束混合以形成具有与原子团混合的原子簇的簇束;载气流量调节装置,用于在形成簇之后调节簇束,使得基本上所有簇都处于液态;和发射装置,其在撞击目标之前以几乎所有的集群处于液态的方式将调节后的集群束的集群发射到目标。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113174572 A
(43)申请公布日 2021.07.27
(21)申请号 202110415778.9
(22)申请日 2021.04.19
(71)申请人 江苏集创原子团簇科技研究院有限
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