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一种产生极端紫外线和软X射线辐射的方法，包括以下步骤：使气体混合物流到可加压阀中，该气体混合物包括团簇形成气体，稀释气体和三元气体，定义腔室的外壳与所述腔室连通的输入通道，所述气体流过所述输入通道进入所述腔室，与所述腔室连通的输出通道，以及一种温度可控喷嘴，所述喷嘴具有气体入口端，所述气体入口端固定地附接到所述输出通道，以及相对的气体出口端，所述喷嘴具有设置在其内的孔，所述阀包含在真空室内；对包含在所述阀中的所述气体混合物加压；降低所述真空室中的压力；将所述温度控制喷嘴的温度调节至适合于从所选择
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113179573 A
(43)申请公布日 2021.07.27
(21)申请号 202110415781.0
(22)申请日 2021.04.19
(71)申请人 江苏集创原子团簇科技研究院有限
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