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本发明公开了一种复合衬底的热膨胀系数测试方法,所述方法包括以下步骤:在复合衬底处于第一温度时,获取复合衬底的第一曲率;加热复合衬底,使得复合衬底以预设升温速度升温,直至复合衬底的温度达到第二温度,获取复合衬底的第二曲率;冷却复合衬底,使得复合衬底以预设降温速度降温,直至复合衬底的温度达到第一温度;在第一温度至第二温度之间选取至少一个目标温度,获取复合衬底的目标曲率;根据复合衬底的第一曲率、至少一个目标曲率和第二曲率,计算得到复合衬底的曲率变化率;根据衬底和薄膜的特性参数和曲率变化率,获得复合衬底
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113176291 A
(43)申请公布日 2021.07.27
(21)申请号 202110467371.0
(22)申请日 2021.04.28
(71)申请人 上海新硅聚合半导体有限公司
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