工艺管道加热装置.pdfVIP

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一种工艺管道加热装置,其包括真空腔体、加热器及工艺气氛管道,所述真空腔体包括相对的真空侧和大气侧,所述真空侧承受真空,所述大气侧承受标准大气压,所述加热器包括密封筒体和位于所述密封筒体内的发热元件,所述工艺气氛管道穿设于所述密封筒体,所述密封筒体的内壁和所述工艺气氛管道外壁之间为大气状态,所述密封筒体包括相对的真空端和密封端,所述真空端与所述密封筒体密封连接,所述密封端和所述真空腔体密封连接,防止发热元件材料污染真空腔体,改善镀膜质量,降低颗粒物生成的风险,防止堵塞工艺管道。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113186515 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110545307.X (22)申请日 2021.05.19 (71)申请人 江苏微导纳米科技股份有限公司

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