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一种工艺管道加热装置，其包括真空腔体、加热器及工艺气氛管道，所述真空腔体包括相对的真空侧和大气侧，所述真空侧承受真空，所述大气侧承受标准大气压，所述加热器包括密封筒体和位于所述密封筒体内的发热元件，所述工艺气氛管道穿设于所述密封筒体，所述密封筒体的内壁和所述工艺气氛管道外壁之间为大气状态，所述密封筒体包括相对的真空端和密封端，所述真空端与所述密封筒体密封连接，所述密封端和所述真空腔体密封连接，防止发热元件材料污染真空腔体，改善镀膜质量，降低颗粒物生成的风险，防止堵塞工艺管道。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113186515 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110545307.X
(22)申请日 2021.05.19
(71)申请人 江苏微导纳米科技股份有限公司
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