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2023-06-15 发布于四川
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一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置.pdf

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本发明公开了一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置，包括箱体，所述箱体的底部固定连接有底座，所述箱体内腔的右下角固定连接有溶液箱，所述箱体内壁的前后两侧之间且位于溶液箱的顶部转动连接有滚筒，所述滚筒的底部贯穿溶液箱的顶部并延伸至溶液箱的内部，所述箱体的前后两侧之间且位于溶液箱的左侧贯穿滑动连接有引导辊，本发明涉及薄膜制备技术领域。该用于快速制备氮化镓薄膜的装置，通过设置引导辊，可将薄膜牵引至传动辊上，使薄膜贴合传动辊表面，便于后续传输，然后利用第一吹气筒向左上方吹风，可将薄膜的一端吹出装置，便于在外部

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113146907 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110431754.2 (22)申请日 2021.04.21 (71)申请人杭州鹏龙科技有限公司

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