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一种用于产生有机分子簇离子束的装置，该装置包括：接收器，其构造成容纳有机材料；团簇产生器，其包括喷嘴，该喷嘴构造成通过使通过喷嘴超音速膨胀容纳在接收器中的有机材料而产生有机材料的分子团；光电离器，被配置为容纳通过团簇产生器产生的团簇；紫外线（UV）光源，配置为将紫外线脉冲照射到光电离器中以使团簇电离；和电极，电极设置在光电离器的两侧，并配置为光电离器提供电势差以产生簇离子束；还包括质量栅，所述质量栅基于所述簇离子束的行进方向位于所述入口电极的下游并且被配置为调节所述簇离子束的簇尺寸，或基于用户选
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113178379 A
(43)申请公布日 2021.07.27
(21)申请号 202110366695.5 H01J 49/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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