JJF 2009-2022CN 半导体参数精密分析仪校准规范.docx

中华人民共和国国家计量技术规范 JJF 2009—2022 半导体参数精密分析仪校准规范 Calibration Specification for Semiconductor Parameters Precision Analyzers 2022- 12-07发布 2023-06-07 实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发布 JJF 2009—2022 半导体参数精密分析仪 校准规范 Calibration Specification for Semiconductor Parameters Precision Analyzers JJF 2009—2022 归 口 单位：全国无线电计量技术委员会 主要起草单位：中国电子技术标准化研究院 参加起草单位：中国计量科学研究院 中国电子科技集团公司第十三研究所 本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释 JJF 2009—2022 本规范主要起草人： 徐迎春(中国电子技术标准化研究院) 刘 冲(中国电子技术标准化研究院) 于利红(中国电子技术标准化研究院) 参加起草人： 高 英(中国计量科学研究院) 乔玉娥(中国电子科技集团公司第十三研究所) JJF 2009—2022 I 目 录 引言 (Ⅱ) 1 范 围 ( 1) 2 引用文件 ( 1) 3 概 述 ( 1) 4 计量特性 ( 1) 4.1 直流电流输出 ( 1) 4.2 直流电流测量 ( 1) 4.3 直流电压输出 ( 2) 4.4 直流电压测量 ( 2) 4.5 脉冲电流 ( 2) 4.6 频 率 ( 2) 4.7 电容测量 ( 2) 5 校准条件 ( 2) 5.1 环境条件 ( 2) 5.2 测量标准及其他设备 ( 2) 6 校准项目和校准方法 ( 4) 6.1 校准项目 ( 4) 6.2 外观和工作正常性检查 ( 4) 6.3 直流电流输出 ( 4) 6.4 直流电流测量 ( 6) 6.5 直流电压输出 ( 7) 6.6 直流电压测量 ( 8) 6.7 脉冲电流 ( 9) 6.8 频 率 ( 10) 6.9 电容测量 ( 11) 7 校准结果表达 ( 11) 8 复校时间间隔 ( 12) 附录A 原始记录格式 ( 13) 附录B 校准证书内页格式 ( 17) 附录C 主要项目校准不确定度评定示例 ( 21) JJF 2009—2022 Ⅱ 引 言 JJF 1071—2010 《国家计量校准规范编写规则》和 JJF 1059.1—2012 《测量不确定 度评定与表示》共同构成支撑本规范编制工作的基础性系列规范。 本规范为首次发布。 JJF 2009—2022 1 半导体参数精密分析仪校准规范 1 范围 本规范适用于电压测量范围土(0.1 V～3000 V)、电流测量范围±(1 pA～1500 A)的半 导体参数精密分析仪的校准。 2 引用文件 本规范无引用文件。 3 概述 半导体参数精密分析仪(以下简称被校仪器)主要由大功率电源/测量单元、中功 率电源/测量单元、大电流电源/测量单元、高压电源/测量单元、中电流电源/测量单 元、多频率电容测量单元、超大电流扩展器等部分组成，通过加压测流和加流测压模式 实现 IV、CV 曲线扫描，从而完成二极管、晶体管、场效应晶体管 (MOSFET) 和绝 缘栅双极型晶体管 (IGBT) 等半导体器件的击穿电压、泄漏电流、结电容等参数的精 密测试。原理框图如图1所示。 直流电流输出 直流电流输出 中功率电源/ 测量单元 直流电压测量 中电流电源/ 测量单元 大电流电源/ 测量单元 高压电源/ 测量单元 超大电流扩展器 多频率电容 测量单元 大功率电源/ 测量单元 多频率电容测量 测试盒 直流电压输出 直流电流测量 加压测流 加流测压 主机 脉冲电流 图1 被校仪器原理框图 4 计量特性 4.1 直流电流输出 4.1.1 输出范围：±(1 pA～10μA); 最大允许误差：±(0.3%～6%)。 JJF 2009—2022 2 4.1.2 输出范围：±(10μA～10A); 最大允许误差：±(0.05%～0.5%)。 4.2 直流电流测量 4.2.1 测量范围：±(1 pA～10μA); 最大允许误差：±(0.08%～6%)。 4.2.2 测量范围：±(10μA～10 A);最大允许误差：±(0.05%～0.5%)。 4.3 直流电压输出 输出范围：土(100 mV～3000V); 最大允许误差：±(0.05%～0.2%) 4.4 直流电压测量 测量范围：士