一种微小型两自由度超声电机及其驱动方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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本发明涉及一种微小型两自由度超声电机及其驱动方法，该微小型两自由度超声电机包括基座、x轴运动单元、y轴运动单元和载物台，其中x轴运动单元固定连接在基座上，y轴运动单元固定连接在x轴运动单元的从动件上，载物台固定连接在y轴运动单元的从动件上。驱动方法是：x轴运动单元与y轴运动单元的运动互相独立，驱动方法一致，通过控制x轴运动单元与y轴运动单元的压电叠堆的超声激励信号，在x轴和y轴分别可以实现合成锯齿波，从而产生两个轴的独立运动。优点在于：装置结构微型化、驱动方法简单、速度快、精度高、成本低、易于集

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113193780 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110604750.X (22)申请日 2021.05.31 (71)申请人吉林大学地址 13

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