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本发明公开了一种基于人造蛋白石湿敏材料的光电湿度传感器，该湿度传感器由人造蛋白石湿敏材料和氮化镓(GaN)光电微芯片组成。人造蛋白石湿敏薄膜覆于GaN光电微芯片表面，GaN光电微芯片采用半导体工艺中的光刻、刻蚀、沉积等方式制备，芯片具备在低电耗下同时完成快速发射和接收光信号能力。本发明高效且成本低，湿度测试范围广，线性度好，灵敏度高，可以有效监测人体呼吸频率和呼吸之间气体湿度变化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113176300 A
(43)申请公布日 2021.07.27
(21)申请号 202110450325.X
(22)申请日 2021.04.25
(71)申请人 南方科技大学
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