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2023-06-15 发布于四川
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一种基于流体通道的光波导及光子器件结构的制造方法.pdf

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本发明公开了一种基于流体通道的光波导及光子器件结构的制造方法，使用超快激光在材料表面制备流体通道，通道形状与尺寸可以精确控制；利用多种有效方式降低表面和通道结构内部的粗糙度，降低光波导的传输损耗；通过调节通道内部流体材料的成分及浓度，实现折射率的精确调节，从而实现光波导纤芯与包层之间折射率差的大范围精确调控；通过调节流体材料折射率与通道尺寸、形状，可精确调控光波导导波模场分布，与接入端相匹配的模场分布将极大的降低耦合损耗。并且，也有利于提升光子芯片的集成度和实现多功能大规模集成。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113176631 A (43)申请公布日 2021.07.27 (21)申请号 202110508926.1 (22)申请日 2021.05.11 (71)申请人嘉兴

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