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本发明涉及一种用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，包括传感器壳体，所述传感器壳体设置有吸气口，传感器壳体内设置有探测腔室，传感器壳体的吸气口端设置有吸气泵，吸气泵与探测腔室之间设置有过滤器，探测腔室内设置有光电传感器，光电传感器连接有电路主板，电路主板连接有供电器。本发明在半导体晶圆检测车间对生产出的半导体晶圆进行微尘检测，确保表面结构和电子特性均达标的半导体晶圆产品流出生产线，同时保证半导体晶圆检测车间的整体整洁性，实时检测半导体晶圆车间微尘分布情况，避免因检测车间的微尘污染给半导体晶圆带
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113218830 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110428887.4
(22)申请日 2021.04.21
(71)申请人 苏州尚阳信息技术有限公司
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