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公开了一种量测设备，包括：光学元件，被配置为在所述量测设备的光瞳平面处或附近接收至少：包括第一较高衍射阶的第一辐射，和第二辐射，其包括用辐射照射量测目标而产生的零阶；并且在第一方向上一起引导所述第一辐射和第二辐射。所述量测设备还被配置为至少形成第一干涉图案的第一图像，所述第一干涉图案是由所述第一辐射和第二辐射在像平面处的干涉产生的。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113227906 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 201980086222.0 H ·P ·M ·派勒曼斯 N ·库马尔
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