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本公开描述了一种用在临界尺寸扫描电子显微镜(CD‑SEM)中且再检测SEM系统的检测器。在一个实施例中，检测器包括具有p‑n结和孔的半导体结构，扫描光束穿过该孔被传送到目标。检测器还包括用于p‑n结的顶部电极(250)(例如，阳极电极或阴极)，顶部电极提供用于检测电子或电磁辐射(例如，来自目标的反向散射)的有效区域。顶部电极具有掺杂层(230)和在掺杂层下方的掩埋部分(260)，以减小顶部电极的串联电阻而不改变有效区域。在另一实施例中，可以在半导体结构中靠近孔的侧壁处形成隔离结构，以将有效区域与
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113228223 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 201980087099.4 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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