化学气相渗透或化学气相沉积方法.pdfVIP

化学气相渗透或化学气相沉积方法.pdf

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本发明涉及一种化学气相渗透或化学气相沉积的方法，该方法至少包括：在多孔衬底的孔隙中或在衬底的表面上形成高温碳，其中将衬底置于反应室中并且由引入反应室的气相形成高温碳，该气相包含至少一种高温碳前体化合物和二氧化碳。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113242914 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 201980082857.3 (74)专利代理机构中国商标专利事务所有限公

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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