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一种减少背场复合损失的PERC电池加工工艺.pdfVIP

一种减少背场复合损失的PERC电池加工工艺.pdf

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    本发明适用太阳能电池加工技术领域，提供了一种减少背场复合损失的PERC电池加工工艺，包括制绒、扩散、刻蚀、退火、背面沉积钝化膜、正面沉积减反膜、背面激光开槽、丝网印刷、烧结步骤，在背面激光开槽步骤与丝网印刷步骤之间还包括：背面碱抛光，使用碱溶液对硅片背面进行抛光处理，并将硅片清洗烘干。本发明提供的一种减少背场复合损失的PERC电池加工工艺通过增加背面碱抛光工艺，利用碱溶液可以去除硅片背面激光开槽时烧蚀形成的损伤层，减少硅片损伤层对载流子的复合，从而减少PERC电池的背场复合损失，可以提升PERC

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113241391 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110471831.7 (22)申请日 2021.04.29 (71)申请人 天津爱旭太阳能科技有限公司

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