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提供加工装置,其将图像显示于显示装置,在作业者一边观察图像一边作业的情况下减轻作业者的负担。加工装置具有:卡盘工作台,其包含板状的保持部件,保持部件具有从一个面至另一个面由透明材料形成的规定的区域;加工单元,其对被加工物进行加工;第1拍摄单元,其设置于卡盘工作台的上方,取得背面侧的正像;第2拍摄单元,其设置于卡盘工作台的下方,取得正面侧的正像;显示装置,其显示第1拍摄单元所拍摄的背面侧的图像和第2拍摄单元所拍摄的正面侧的图像中的至少任意图像;和控制部,其对背面侧的正像和正面侧的正像中的任意图像进
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113211660 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110140620.5 H01L 21/687 (2006.01)
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