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本发明是关于一种纳米晶二氧化钛功能薄膜及其制备方法。该纳米晶二氧化钛功能薄膜，包括交替层叠设置的二氧化钛膜层和晶粒生长抑制膜层，所述的晶粒生长抑制膜层为无定形结构的金属氧化物层，所述晶粒生长抑制膜层的厚度为0.5～1.5nm。本发明通过在二氧化钛薄膜中引入晶粒生长抑制膜层，起到晶粒生长抑制剂的作用，可有效控制二氧化钛晶粒的生长，使二氧化钛的晶粒尺寸控制在设定的范围内，同时晶粒生长抑制膜层在整个薄膜结构中占比较低，对二氧化钛薄膜的性能影响不大，可最大程度上发挥出二氧化钛薄膜的性能优势。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113235048 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110484165.0
(22)申请日 2021.04.30
(71)申请人 中国
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