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提供了包括标准单元的集成电路器件。标准单元可以包括:第一垂直场效应晶体管(VFET),包括第一沟道区域并具有第一导电类型;以及第二VFET,包括第二沟道区域并具有不同于第一导电类型的第二导电类型。第一沟道区域和第二沟道区域中的每个可以在第一水平方向上纵向延伸,并且第一沟道区域可以在垂直于第一水平方向的第二水平方向上与第二沟道区域间隔开。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113224049 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110161873.0
(22)申请日 2021.02.05
(30)优先权数据
62/970,27
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