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一种扫描电子显微镜（1），其包括处于电子光学成像系统（2）与样品载体（10）之间的滑动真空密封装置（20），该滑动真空密封装置（20）具有第一板（22），该第一板（22）具有与电子光学成像系统相关联的第一孔径（24），并且靠在第二板（26）上，该第二板（26）具有与样品载体相关联的第二孔径（28）。第一板和/或第二板包括环绕第一孔径和/或第二孔径的凹槽（40）。扫描电子显微镜可以包括相对于电子束可移动的检测器（8）。扫描电子显微镜可以包括用于沿无碰撞路径移动样品载体的运动控制单元。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113223913 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110223041.7 H01J 37/20 (2006.01)
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