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本发明涉及一种多铁异质结磁传感器、其制备方法及电子设备，所述磁传感器包括：具有背腔的基底以及固设于基底表面的压电振膜和磁致伸缩层，磁致伸缩层容置于背腔内，压电振膜设于基底背离背腔一侧；基底包括间隔设置围设形成背腔的两部分，基底的其中一部分包括支撑部和悬臂梁，悬臂梁一端固设于支撑部，另一端悬置于背腔上，压电振膜和磁致伸缩层固设于悬臂梁上；压电振膜包括设于基底的电极层以及夹设于电极层之间的压电层。通过以上方式，本发明使用磁致伸缩层的磁致伸缩效应、ΔE效应以及压电结构的正压电、逆压电效应，实现一个多铁
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113241401 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110420439.X B81C 1/00 (2006.01)
(22)申请日 20
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