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本发明涉及半导体技术领域,公开一种热电制冷器性能测试装置,其包括恒温箱和设于恒温箱内的恒温腔,恒温箱内壁和恒温腔外壁间形成密封腔室,恒温腔内壁底部设定位槽;测试装置还包括封闭恒温腔的上盖和多组与多个热电制冷器对应的测试用电路,测试用电路包括电源电路、温度采样电路和控制电路;上盖上设有一端与热电制冷器电源焊盘相接、另一端与电源电路接通的弹簧顶针,还设有与恒温腔腔体底部接触的第一热电偶,第一热电偶另一端与温度采样电路接通;上盖上还设与热电制冷器对应设置的第二热电偶,第二热电偶一端与热电制冷器冷端陶瓷
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113237679 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110424487.6
(22)申请日 2021.04.20
(71)申请人 东莞先导先进科技有限公司
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