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产生平版印刷掩膜的可比较区域的系统和方法.pdfVIP

产生平版印刷掩膜的可比较区域的系统和方法.pdf

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    本公开内容的实施方式提供了用于产生用于管芯间缺陷检测技术的管芯内参考的方法。使用管芯内参考的检查方法包括寻找平版印刷掩模的相似区块，所述相似区块由相似CAD信息限定。基于(i)所述相似区块的区域和(ii)在所述相似区块之间的空间关系来选择比较距离。基于比较距离，聚合所述相似区块，以提供多个聚合区域；和基于所述多个聚合区块来限定所述平版印刷掩模的可比较区域。使用检查模块获取所述平版印刷掩模的所述可比较区域中的至少一些可比较区域的图像。比较所获取的图像。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113253568 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110096951.3 (22)申请日 2021.01.25 (30)优先权数据 16/752,35

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