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本发明涉及光学成膜技术领域,尤其是一种基板架的安装结构及其安拆方法,基板架包括基板架上盘和基板架下盘,其中基板架上盘与旋转机构相连接固定,基板架下盘的顶面上设置有挂钩,基板架上盘上设置有与挂钩相吻合适配的卡槽,卡槽的一侧具有开口,挂钩可通过该开口进入卡槽内并与卡槽构成卡接,基板架下盘的底部可装载待成膜产品。本发明的优点是:利用基板架下盘的自重实现其安装固定,有效保证安装的牢固性,避免基板架旋转时发生松动;通过挂钩与卡槽之间的配合实现基板架的精确定位,保证成膜均匀性;通过将基板架分割为上、下盘的分
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113242646 B
(45)授权公告日 2023.03.31
(21)申请号 202110281529.5 审查员 黄苑
(22)申请日 2021.03.16
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