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2023-06-16 发布于四川
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一种多功能硅片烘烤用储存装置.pdf

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本发明涉及硅片技术领域，尤其是一种多功能硅片烘烤用储存装置，包括底板、若干硅片，底板一侧固定设有A隔热箱，A隔热箱一侧可滑动连接设有L型滑动架，L型滑动架与A隔热箱之间设有自动往返运动装置，L型滑动架一侧固定设有B隔热箱，B隔热箱一侧固定设有隔热盖板，B隔热箱一侧设有若干轴孔，轴孔内侧均可转动连接设有转动轴，L型滑动架一侧设有若干连接孔，转动轴均可转动连接在连接孔内侧。本发明，通过设置A隔热箱、L型滑动架、电动推杆、B隔热箱、转动轴、滑动杆、齿条、扇形齿轮、电动机、连杆、载物板、U型挡架、C型挡

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113218176 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110379697.8 (22)申请日 2021.04.08 (71)申请人涌明科技（上海）有限公司

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