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本申请实施例提供制备石墨烯的方法、石墨烯薄膜制备装置及石墨烯生产设备。本申请第一方面中制备石墨烯的方法包括以下步骤：预置步骤，将衬底以及含碳靶材放入预制备石墨烯的腔室，且使衬底与碳靶材以预设距离H相对设置；通入气体，向腔室持续通入流量比为R的含碳气体和惰性气体，其中，流量比R取值范围是0.08至0.375；在腔室内部环境条件达到预设条件状态下，施加平行于碳靶材靶表面的封闭磁场，同时施加垂直于靶表面和衬底的电场，以在衬底上形成石墨烯薄膜。可以提高制备得到的石墨烯薄膜的连续性以及提高石墨烯薄膜的比表
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113213457 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110391199.5
(22)申请日 2021.04.12
(71)申请人 佛山市兴炬烨科技研究有限公司
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