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本发明提供了五氧化二氮浓度的调整装置和方法，所述五氧化二氮浓度的调整装置包括：第一气源用于提供已知浓度的一氧化氮气体；第二气源用于提供臭氧气体；所述一氧化氮和臭氧在反应单元内发生反应生成五氧化二氮；捕集和释放单元用于捕集和释放反应生成的五氧化二氮；第三气源提供的第一气体与所述捕集和释放单元释放出的五氧化二氮混合；温控单元用于调整所述捕集和释放单元的温度T1，以及调整释放出的五氧化二氮和第一气体的混合气的温度T2；第四气源提供稀释气体，用于以稀释倍数C稀释所述混合气。本发明具有自动化、稳定性好等优
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113233433 B
(45)授权公告日 2022.08.05
《上海航天》.20
(21)申请号 202110524640.2
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