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本发明属于微纳加工制造技术领域,具体涉及一种高度可控的电容加速度计封装的方法,所述方法对应的封装结构包括基底、弹簧振子、内部器件、极板、焊料、限位结构和上盖;所述方法包括如下步骤:(1)在基底上制作内部器件;(2)对内部器件进行刻蚀,形成弹簧振子的结构;(3)在上盖的表面制作极板和限位结构;(4)在极板的表面放置焊料并260℃~280℃温度下回流;(5)将基底与上盖进行封装键合。本发明采用匀胶、光刻、显影制作限位结构,取代了现有技术中的电镀工艺,简化工艺、提高效率,并且能更好控制上下极板间距。工
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113200513 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110473445.1
(22)申请日 2021.04.29
(71)申请人 中山大学南昌研究院
地
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