基于导电氧化物DBR的氮化物垂直腔面发射激光器的制作方法.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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基于导电氧化物DBR的氮化物垂直腔面发射激光器的制作方法.pdf

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本发明公开了基于导电氧化物DBR的氮化物垂直腔面发射激光器的制作方法，激光器包括依序层叠设置的支撑基板、第一反射镜、电流限制层、p型层、有源区、n型层、第二反射镜以及n电极；其中，第一反射镜、第二反射镜分别由p型、n型导电性氧化物DBR构成；本发明使用具有导电性的氧化物材料制作分布式布拉格反射镜，作为氮化物垂直腔面发射激光器的反射镜，具有优良的导电性能，能够同时作为激光器电极使用，同时，本发明激光器结构中不需要使用透明电流扩展层以及腔内接触电极结构，从而显著地简化了激光器结构以及制备工艺；本方案

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113206446 A (43)申请公布日 2021.08.03 (21)申请号 202110485561.5 (22)申请日 2021.04.30 (71)申请人厦门大学地址 36

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