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一种主振荡功率放大激光器及制备方法.pdfVIP

一种主振荡功率放大激光器及制备方法.pdf

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    本发明公开了一种主振荡功率放大激光器，包括：衬底；设置于所述衬底上的外延层，所述外延层自衬底至上依次包括下限制层、下波导层、有源层、第一上波导层和第二上波导层，其中，所述第二上波导层与所述第一上波导层的部分区域相接触；主控振荡器结构，设置于所述第一上波导层表面，其中，所述主控振荡器结构为脊型波导结构；功率放大器结构，设置于所述第二上波导层表面，所述功率放大器结构与所述主控振荡器结构相耦合，其中，所述功率放大器结构为锥形波导结构。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113206441 A (43)申请公布日 2021.08.03 (21)申请号 202110487690.8 H01S 5/30 (2006.01) (22)申请日 20

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