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本发明涉及一种干涉测量系统的减振反馈系统及其检测方法。保证干涉测量系统和机床大理石工作台保证相对静止，进而提高原位干涉测量系统的检测精度。本发明通过采集加速度传感器的信号f1和压电传感器的信号f2；然后，两信号相减得到信号f3，将信号f3进行取反处理；再通过PID调节，控制音圈电机产生反作用力，对干涉测量系统的动态微运动进行控制，保证干涉测量系统和机床大理石工作台保证相对静止。当信号f2极小或等于零时，信号f3取反后，推动音圈电机可以抵消干涉测量系统的振动，保持静止。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113211164 B
(45)授权公告日 2022.04.08
(21)申请号 202110430704.2 B23Q 17/00 (2006.01)
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