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本发明涉及一种透射电镜侧面加载电场的样品及其制备方法。先将块状样品或粉末制成的包埋样品经过打磨和抛光至所需电场电极间距厚度得到待测样品后,再采用高温导电胶将至少3片待测样品进行粘连并进行干燥处理,形成预制样品;或者,通过使用MLCC的制造流程和生产工艺,制备得到内部印刷有电极面的预制样品;将所得预制样品固定在试样台并使电极面或高温导电胶层垂直于试样台平面,再通过打磨使得预制样品减薄至30μm~50μm;采用离子减薄仪器对所得减薄至30μm~50μm预制样品进行二次减薄处理,在预制样品表面形成到圆
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113237713 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110455718.X 审查员 朱筠清
(22)申请日 2021.04.26
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