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本发明公开了一种IGZO废素坯回收制备IGZO靶材的方法，包括如下步骤：首先，将IGZO废素坯敲成块状体，然后破碎，粉碎；然后将粉碎粉末进行热处理，得到热处理粉末；然后将热处理粉末与分散剂、粘结剂、水和消泡剂球磨混合，制成IGZO浆料；然后通过喷雾干燥将浆料制成IGZO粉末；最后，通过成型和烧结制成IGZO靶材。本发明的方法可将IGZO废素坯直接回收利用，制成密度大于6.31g/cm3的IGZO靶材，提高了IGZO靶材工业生产中IGZO粉末的利用率和IGZO靶材的产率，回收工艺简单，容易操作，成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113233888 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110457145.4
(22)申请日 2021.04.27
(71)申请人 先导薄膜材料（广东）有限公司
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