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一种开关元件、半导体装置、半导体装置的制造方法。本发明涉及的开关元件的特征在于,具有:衬底;第1栅极焊盘,其形成在该衬底;第2栅极焊盘,其形成在该衬底;第1电阻部,其形成在该衬底,将该第1栅极焊盘与该第2栅极焊盘连接;以及单元区域,其形成在该衬底,与该第1栅极焊盘连接。由此,在完成栅极电阻内置型的开关元件之后,能够进行该开关元件的栅极电阻值的测量和栅极电阻的选择。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113224150 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110510096.6 H01L 27/06 (2006.01)
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