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快速量测模组.pdfVIP

快速量测模组.pdf

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    本发明所提供的快速量测模组将一第一距离感测单元与一第二距离感测单元分别设置在一移动座上，以在该移动座沿着一直线的移动轴方向进行位移时，得以该第一距离感测单元感测与一第一基准平面间的距离，同时以该第二距离感测单元感测与该一第二基准平面间的距离，以感测该移动座相对于该第一基准平面与该第二基准平面进行移动的直线精度。其中，该第一基准平面与该第二基准平面彼此间相隔的角度并非平角，通过此即可经由感测得知该移动座在两个不同平面上的直线移动精度，例如水平直线精度与垂直直线精度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113251960 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 20201

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