一种快速区分氮化铝体单晶极性面的方法与装置.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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一种快速区分氮化铝体单晶极性面的方法与装置.pdf

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本发明公开了一种快速区分氮化铝体单晶极性面的方法及装置，将氮化铝晶片A极性面向上平放在铜片上；用表笔探针对氮化铝晶片的A极性面施加外力；电荷信号通过电荷放大器中的输入端输入到电荷放大器内，并通过输出端输出电压信号并显示在数字型万用表上；根据数字型万用表上的负电压信号判断氮化铝单晶片极性为：A极性面为Al极性面，与实验结果吻合；将氮化铝单晶片翻转，即B极性面朝向上方进行二次测试，根据万用表上的正电压信号判断：B极性面为N极性面。本检测方法对氮化铝晶片无任何损伤、无腐蚀、不具有破坏性，可以快速准确地

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113219122 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110515624.7 (22)申请日 2021.05.12 (71)申请人中国电子科技集团公司第四十六研

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