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2023-06-16 发布于四川
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X射线管性能测试设备.pdf

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本发明公开了一种X射线管性能测试设备，包括真空腔体、冷阴极测试组件、栅极升降组件、液冷阳极组件、焦斑测试组件、高真空度温控组件和X射线管性能测试系统，所述真空腔体上设有舱门以及内部设有载物平台。该X射线管性能测试设备具有阴极、栅极可调节，阳极可替换的特征，可用于冷阴极X射线管在制备前各项仿真数据的验证，在无需制备成管的情况下很方便的调整射线管性能的各项参数，亦可检验石墨电弧法、固相热解法、化学气相沉积、热解聚合物、丝网印刷等不同制备工艺下不同批次的冷阴极性能。这些特点能够极大的缩短冷阴极X射线管

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113218634 B (45)授权公告日 2022.06.17 (21)申请号 202110491545.7 H01J 9/42 (2006.01) (22)申请日 2021.05.

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